Wòl nan kritik nan Air BEARINGS nan kontwòl mouvman nanokal

Kontak mekanik se lènmi presizyon nanomèt. Air BEARINGS sou Precision Granite oswa Seramik gid elimine friksyon, mete, ak Vibration. Avèk yon mouch-wotè tipik 5-10 μm ak zewo-mouvman friksyon, sistèm sa yo pèmèt rezolisyon 10 nm ki nesesè pou litografi semi-kondiktè avanse ak metroloji segondè.

1. Elimine friksyon: chemen an nan lavi mekanik enfini

Paske pa gen okenn kontak fizik ant pati k ap deplase, sistèm kote yo pote lè fè eksperyans zewo mete. Sa a asire ke kalibrasyon inisyal la nan yon etap optik rete valab pou ane. Nan anviwònman segondè -sik devwa tankou eskanè wafer, "lavi enfini" sa a diminye depans antretyen ak elimine nesesite pou lubrasyon, ki esansyèl pou konfòmite chanm pwòp.

2. Reyalize Sub-Micron Dwatty sou Long Vwayaj Ranges

When an air bearing glides over a DIN 876 Grade 000 granite guide, it averages out the microscopic surface irregularities. This "averaging effect" results in motion straightness that is often superior to the physical guide itself. For long-travel applications (>1000mm), sa a pèmèt pou yon pwofil mouvman ki konsistan ak erè angilè minimòm (anplasman, woule, yaw).

3. Izolasyon Vibration ak lis nan mouvman

BEARINGS mekanik (boul oswa woulèt) jenere "bri resikilasyon" ki entèfere ak mezi sansib. BEARINGS Air opere sou yon fim mens nan lè presyon, bay yon efè vibrasyon natirèl. Sa a lakòz yon mouvman ultra-lis ak rid vitès neglijab, sa ki enpòtan pou imaj segondè-rezolisyon ak nanomèt-profilaj sifas echèl.

4. Poukisa Granite ak Seramik yo esansyèl Air kote yo pote substrats?

Pèfòmans yon kote yo pote lè a depann antyèman sou bon jan kalite sifas li flote sou li. Jinan Nwa Granite ak Seramik Teknik bay ekstrèm plat ak estabilite tèmik ki nesesè pou kenbe yon espas lè konstan 5 μm. Nenpòt deformation tèmik nan substra a ta aksidan portant la, fè seleksyon materyèl desizyon an jeni ki pi kritik.

5. Entegrasyon: Konbine BEARINGS Air ak motè lineyè

Pou reyalize yon pozisyon nan nano-echèl gwo -vitès, nou entegre Ironless Linear Motors ak etap lè yo pote. Konbinezon sa a elimine "cogging" ak fòs atraksyon mayetik, bay mouvman ki pi pwòp posib. Nan UNPARALLELED, nou bay tout asanble mekanik la, ki gen ladan baz granit la, rondèl yo pote lè, ak interfaces yo aliye motè.

Air BEARINGS vs Gid lineyè mekanik

FAQ: Teknoloji Air kote yo pote

Q1: Kisa k ap pase si rezèv lè a echwe?

A: Nou itilize sifas aterisaj ijans oswa "difisil-kouvwi" koòdone seramik pou anpeche domaj. Nou rekòmande tou detèktè presyon ki deklanche yon arè ijans ak angaje fren mekanik si presyon lè a desann pi ba pase yon papòt kritik.

Q2: Ki kalite lè ki nesesè pou bi sa yo?

A: Lè a dwe filtre, sèk, epi lwil -san. Nou tipikman presize ISO 8573-1 Klas 1.4.1 kalite lè a asire ke pa gen okenn patikil oswa imidite bouche orifis sub-mikwon yo nan rondèl yo pote lè.

Q3: Èske bi lè yo ka travay nan yon vakyòm?

A: Wi, men yo mande pou yon konsepsyon vakyòm-precharje oswa sele espesyalize diferan ponpe pou anpeche lè a koule nan chanm vakyòm lan. Sa yo komen nan zouti avanse semi-conducteurs EUV.

Q4: Ki jan bi lè yo okipe chay lou?

A: Lè nou ogmante sifas la nan rondèl yo pote ak presyon lè a (tipikman 0.5-0.6 MPa), nou ka sipòte chaj ki sòti nan kèk gram nan plizyè tòn ak menm pèfòmans nan friksyon.

Q5: Èske li difisil pou enstale etap lè yo pote?

A: Yo mande pou aliyman egzak ak yon sifas referans trè plat. Se poutèt sa UNPARALLELED tipikman bay BEARINGS lè yo pre-monte ak teste sou baz granit presizyon nou yo pou asire pèfòmans "soti---bwat la".

Q6: Ki avantaj prensipal pou manifaktirè CMM yo?

A: Vitès ak presizyon. BEARINGS Air pèmèt sond CMM la deplase pi vit san yo pa pwovoke vibrasyon, sa ki mennen nan sik enspeksyon pi rapid ak pi wo presizyon pou jeyometri konplèks yo jwenn nan motè ayewospasyal modèn.