Plizyè sous mikwo-vibrasyon ba frekans insansibl egziste andedan chanm pwòp semi-conducteurs, ki te pwodwi pa ponp vakyòm, trepye pou manyen materyèl anlè, inite fanatik ak ekipman opere adjasan. Vibrasyon sa yo pwopaje nan etaj ak estrikti bilding nan ekipman pwodiksyon an. Pou enspeksyon wafer, lyezon ak zouti litografi, jitter nan nivo nanomèt pral deklanche imaj twoub, konpanse aliyman ak kouvri erè, ki lakòz dirèkteman bouyon wafer ak pèt sede. Anpil manifaktirè ekipman adopte platfòm ekstèn izolasyon Vibration pou bese entèferans Vibration. Men, izolatè yo ka sèlman filtre yon pati nan vibrasyon transmèt deyò, ak amelyorasyon limite kont vibrasyon pwòp tèt ou eksite ki te pwodwi pa pwòp eleman k ap deplase ekipman an. Diferan de ankadreman metal, estrikti portik granit konsome enèji vibrasyon nan nivo estriktirèl grasa karakteristik entèn-amortissement materyèl entèn yo. Li siprime tou de entèn ak ekstèn Vibration, byen satisfè kondisyon sevè k ap travay nan liy pwodiksyon semi-conducteurs.
Vibration pwòp tèt ou eksite se inevitab pandan operasyon gwo vitès nan ekipman semi-conducteurs. Motè lineyè ak etap glisman ki monte sou travès portik yo pwodui vibrasyon chòk pandan gwo vitès start-stop ak optik resipwòk. Portik asye ak jete yo gen move pèfòmans amortissement. Yon fwa Vibration rive, li dekonpoze tou dousman epi jenere sonnen estriktirèl ki pèsistan. Vibration reverberate andedan ankadreman an epi transmèt nan asanble nwayo ki gen ladan lantiy optik, entèferomètr ak etap wafer. Pou evite defo vibrasyon pwovoke, ekipman yo dwe diminye vitès k ap deplase epi ajoute tan reta nan rezoud, ki dirèkteman diminye debi an jeneral. Mèsi a teksti cristalline dans, granit gaye enèji vibrasyon rapidman atravè friksyon entèn nan mitan fwontyè grenn jaden ak anpil diminye dire rezidyèl-Vibration. Mouvman asanble estabilize byen vit apre yo fin fè mouvman yo. Latans datant pwolonje pa nesesè, sa ki pèmèt ekipman an reyalize tou de presizyon pozisyon nan nivo nanomèt ak gwo debi pou senaryo gwo vitès enspeksyon wafer-eskanè.
Mikwo-vibrasyon ki transmèt deyò se yon lòt defi difisil pou zouti semi-conducteurs. Menm ak tretman rediksyon vibrasyon jeni sivil pou chanm pwòp, ekipman ki antoure kòmanse-sispann ak trepye anlè vwayaje kontinyèlman eksitasyon vibrasyon pwodiksyon nan etaj faktori yo. Portik metalik yo aji kòm chemen transmisyon vibrasyon epi fè ti vibrasyon etaj anlè san antrave aktuateur. Benefisye de inèsi mas ki sòti nan gwo dansite ak amortissement materyèl, portik granit febli efikasite transmisyon anlè nan Vibration etaj, fòme yon baryè entèn vibration-tanpon pou machin nan antye. Li diminye twoub nan chemen optik ak sistèm metroloji. Menm anba vibwasyon background minè andedan atelye, etap lè-pote ak modil optik enstale sou portik la kenbe referans ki estab epi redwi twòp depandans sou izolatè vibrasyon ekstèn.
Evite sonorite delivre valè pratik pou ekipman semi-conducteurs. Chak ankadreman mekanik posede yon frekans sonan natirèl. Yon fwa frekans eksitasyon atelye a konyenside ak frekans natirèl ekipman an, anplifikasyon sonorite rive ak agrandi vibrasyon minè drastikman, detwi estabilite pwosesis imedyatman. Ankadreman metal yo gen tandans gen ranje frekans natirèl ki sipèpoze bann komen atelye-vibwasyon, ogmante risk sonorite. Gwo pwa pwòp tèt ou ak ase tranpaj nan portik granit chanje frekans natirèl la an jeneral nan ekipman konplè. Menm apwoche bann sonorite, gwo tranpaj siprime anplitid sonorite ak anpeche dramatik anplifikasyon Vibration. Li garanti estabilite pwosesis pandan pwodiksyon 24/7 san rete epi evite bouyon mas wafer deklanche pa evènman sonorite inatandi.
Transmisyon Vibration nan jwenti estriktirèl enpòtan tou pou operasyon pwodiksyon an mas alontèm. Portik metalik yo sitou reyini atravè koneksyon soude ak boulon. Vibwasyon transfere repete atravè épissures ak boulon interfaces. Vibrasyon siklik alontèm ka dekole konektè ak plis degrade pèfòmans vibrasyon-amortissement, ki mande peryodik sou plas resere ak kalibrasyon. Monolitik tè portik granit elimine anpil koòdone epis ak bloke chemen transmisyon Vibration. Pa gen okenn risk kache pou boulon detachman anba vibrasyon siklik. Kapasite amortissement Vibration li a pa degrade sou plizyè chanjman kontinyèl pwodiksyon, diminye liy pwodiksyon D' Et correspondance kondisyon wo-itilizasyon pousantaj fab semi-conducteurs.
Men, se pa tout materyèl wòch yo bay pèfòmans satisfezan pou amortissement vibration. Òdinè mab gen abondan fant entèn ak grenn ki lach ak kapasite amortissement pòv. Li echwe pou gaye enèji vibrasyon efektivman epi li pa ka satisfè kondisyon pwosesis nan nivo nanomèt pou fabrikasyon semi-conducteurs. UNPARALLELED Group aplike tès depistaj strik pou minrè anvan tout koreksyon epi li rejte wòch ki gen fant entèn ak distribisyon grenn inegal. Sipòte pa gwo-gwosè monolitik-pwosesis kapasite ak sistèm verifikasyon metroloji konplè, konpayi an konvèti potansyèl la nannan vibration-amortissement nan granit nan pèfòmans nan eleman reyèl ak asire estabilite estriktirèl pou ekipman semi-conducteurs.
Pou konklizyon, kapasite nan vibration-amortissement nan portik granit se byen lwen plis pase sibstitisyon materyèl senp. Li adrese defi konplèks mikwo-Vibration nan liy pwodiksyon semi-conducteurs ki soti nan plizyè dimansyon: siprime vibrasyon rezidyèl pwòp tèt ou eksite, atenuasyon vibrasyon ekstèn fèk ap rantre, restriksyon anplitid sonorite ak evite degradasyon pèfòmans ki te koze pa estrikti spliced. Li pwoteje presizyon nan nivo nanomèt pandan pwosesis wafer ak enspeksyon epi li ede fab kenbe pwodiksyon chip-pwodiksyon.