Nan enspeksyon optik otomatik (AOI) ak kat defo wafer gwo-debi, rezolisyon sub-mikwon an pa yon liks ankò-se yon baz absoli. Kòm detèktè optik, kamera liy-eskanè, ak lantiy gwo-agrandisman yo rive jwenn rezolisyon pixel nanomèt-echèl, chasi mekanik ki sipòte sistèm sa yo dwe ofri zewo flechir dinamik ak pre-vibrasyon fikse enstantane.
Pandan ke soude metalik ak ankadreman fè jete yo te estanda a pou platfòm enspeksyon optik, pwofil akselerasyon agresif sispann-ak- nan sistèm portik modèn ekspoze limit yo. Pou kaptire imaj ki klè, deformasyon-gratis nan yon echèl sub-mikwòn, konsèpteur estriktirèl yo ap vire nan ultra-granit nwa natirèl natirèl kòm materyèl debaz ideyal.
I. Damping dinamik chòk: Rapò Siperyè Atténuation Granite a
Machin AOI ki gen gwo -vitès yo fonksyone sou sik mouvman vyolan, ak portik motè lineyè akselere jiska 2G pou eskane tablo sikwi ki gen gwo -dansite oswa plak semi-conducteurs. Chanjman vitès rapid sa yo pwovoke onn chòk mekanik ki vwayaje nan ankadreman machin nan, sa ki lakòz flou imaj ak reta repozisyon Capteur.
Natirèl gwo -granit nwa dansite (≈3,100 kg/m3) adrese sa ak yon kapasite amortissement vibration intrinsèques jiska 15 fwa pi wo pase fè jete.
Mikwo-Dissipation kristalin: kwats ak fwontyè grenn fèlspa ki te antre nan mitan granit nwa dans konvèti enèji vibrasyon mekanik nan chalè neglijab.
Tan rapid fikse: Segondè amortissement estriktirèl diminye tan rezidyèl vibrasyon yo soti nan dè santèn de milisgond rive tou pre zewo, sa ki pèmèt kamera AOI yo tire imedyatman apre yo fin kanpe san yo pa tann pou sonorite ankadreman pou pouri.
II. Mas estriktirèl ak ba-sant-de-Topoloji baz gravite
Konsepsyon yon chasi granit pou enspeksyon optik sub-mikwon mande distribisyon mas estratejik olye ke senpleman ajoute pwa. Baz modèn AOI granit yo itilize topoloji ki ba-sant-de-gravite ak chanèl kre entegre ak zo kòt optimize.
Entegre kab ak kanal de lè: Kondwit entèn machinn pèmèt pneumatik, liy elektrik, ak fib -cable optik pase nan nwayo baz granit la, kenbe yon sant gravite pwòp epi elimine entèferans trennen kab.
Kinematic Mounting Bosses: Nerjaveèi asye ak foure an kwiv fil yo se epoksidik-ancrage nan pòch granit presizyon-fore, ki bay gwo -rale- nœuds aliye fòs pou kolòn optik, bag ekleraj, ak stator motè lineyè san yo pa chanje jaden estrès lokalize wòch la.
III. Sub-Micron Flatness pou Entegrasyon Gid Motè Lineyè
Presizyon an nan yon sistèm optik AOI depann dirèkteman sou dwat ak erè anplasman / yaw / woule nan aks mouvman li yo. Lè w ap monte etap motè lineyè segondè-direkteman sou sifas granit, kousinen aliye yo dwe satisfè tolerans jeyometrik strik.
Nanomèt-Plativite Sifas Nivo: Plan referans kritik ak tren aliye yo alamen men-ak estanda Klas 000 (<1.0 μm overall flatness across multi-meter spans), ensuring that linear motor carriages travel without vertical elevation changes.
Entegre Air Bearing Gid: Sifas granit nwa ki wo -klas yo ka poli nan yon miwa ekstrèm-tankou fini lis (Ra mwens pase oswa egal a 0.1 μm), ki pèmèt etap kote yo-lè yo glise sou yon kousen mikwoskopik, san friksyon nan lè konprese san yo pa mete mekanik.
IV. Soulajman Estrès Anviwònman ak Estabilite Metrolojik alontèm-
Yon chasi ki fèt pou enspeksyon optik sub-mikwòn dwe kenbe fòm jeyometrik li pandan plizyè dizèn ane operasyon kontinyèl. Blòk granit kri yo itilize nan konstriksyon presizyon AOI baz sibi estrès natirèl anbyen -selaj aje anvan fini fanm k'ap pile.
Lè yo pèmèt jaden estrès tektonik entèn yo detann pandan peryòd pwolonje aje, blòk granit la pèdi potansyèl li pou deformation mikwoskopik. Konbine avèk rib simetrik ak nivo sinematik twa-pwen, estrikti granit sa yo bay yon done jeyometrik imuitab ki rete estab kont materyèl alontèm-ki trennen sou vant.
Ancrage pwochen jenerasyon vizyon machin lan
Kòm sistèm AOI ki gen gwo vitès -pouse limit agrandisman optik ak rezolisyon espasyal, chasi machin nan dwe evolye soti nan yon ankadreman sipò pasif nan yon eleman presizyon aktif. Lè yo konbine gwo dansite materyèl, atenuasyon rapid Vibration, ak nanomèt-nivo fini sifas, konpozan estriktirèl granit enjenyè bay estabilite fizik ki pa janm kase ki nesesè pou mache platfòm vizyon machin ki pi egzijan nan mond lan.